磁控溅射系统采购竞价公告

标签：山西省招标磁控溅射系统

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项目名称	磁控溅射系统采购	项目编号	**********-*
项目编号	**********-*
公告发布日期	**// :**	公告截止日期	**// :**
公告截止日期	**// :**
采购单位	山西师范大学[联系方式]	是否本地化服务	否
是否本地化服务	否
联系人	中标后在我参与的项目中查看	联系手机	中标后在我参与的项目中查看
联系手机	中标后在我参与的项目中查看
采购预算	￥,.*	是否需要踏勘	否
是否需要踏勘	否
踏勘联系人		踏勘联系电话
踏勘联系电话
踏勘地点		踏勘联系时间
踏勘联系时间
送货/施工/服务期限	-月
送货/施工/服务地址	山西省太原市小店区太榆路**号山西师范大学[联系方式]北区号教学楼****
售后服务	()要求用户可以随时通过电话、电子邮件等方式与厂家维修人员联系。()在收到用户技术服务的通知后，要求厂家在个小时内作出响应，小时内提供解决方案。()如果通过电话、传真、电子邮件等手段不能解决问题，确认有必要派遣工程师到达用户现场的情况下，厂家需在个工作日内派遣工程师到达用户现场。
付款条款	交货并验收合格后***%付款
其他说明

采购清单

采购内容		数量单位
磁控溅射系统		*(套)
是否进口	否
参考品牌及型号	不限定品牌型号
技术参数要求	、真空极限：优于.×- ***（烘烤后）、基片：基片台有负偏压装置，可加 -*** 的负偏压，可实现对样品的刻蚀，改善样品的致密性等参数、溅射靶：个 ***圆形阴极，强磁场个，普磁场* 个，可开展、、**、*镀膜生长、气路系统：配置路氩气质量流量计进气，实现溅射气压的调节、工作模式：向上溅射（基片台再腔室顶部，靶在腔室底部）、膜厚均匀性：溅射区域达 **，保证×*区域均匀性%*、报警及保护：对靶、泵、电机缺水、过流过压、断路等异常情况进行监控报警并执行相应保护措施

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