中国科学院上海微系统与信息技术研究所高深宽比纳米薄膜沉积系统公开招标公告

公告信息：
采购项目名称	中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]高深宽比纳米薄膜沉积系统
品目	货物/通用设备/机械设备/其他机械设备
采购单位	中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]
行政区域	上海市	公告时间	****年**月**日 **:**
获取招标文件时间	****年**月**日至****年**月**日 每日上午:*:** 至 **:**  下午:**:** 至 **:**（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价	￥***
获取招标文件的地点	上海市共和新路****号*座***室
开标时间	****年**月**日 **:**
开标地点	上海市共和新路****号*座*楼会议室
预算金额	￥***.******万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人	纪老师
项目联系电话	***-********
采购单位	中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]
采购单位地址	上海市长宁区长宁路***号
采购单位联系方式	纪老师***-********
代理机构名称	上海中招招标有限公司[联系方式]
代理机构地址	上海市共和新路****号*座***室
代理机构联系方式	陈永亮***-********，***********
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项目概况中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]高深宽比纳米薄膜沉积系统 招标项目的潜在投标人应在上海市共和新路****号*座***室获取招标文件，并于****年**月**日 **点**分（北京时间）前递交投标文件。*、项目基本情况项目编号：*********项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]高深宽比纳米薄膜沉积系统预算金额：***.******* 万元（人民币）最高限价（如有）：***.******* 万元（人民币）采购需求：*维**工艺和*维****加工而成的异质集成的传感器表面会有各种台阶、高深宽比的孔洞、槽等结构，需要台阶覆盖能力强的薄膜沉积技术。此外，由于材料晶格结构、热膨胀系数的差异，异质集成的衬底不可避免的会出现翘曲，需要保形薄膜沉积技术；圆片级的异质集成封装涉及各种衬底，需要*种新的低温键合技术。高深宽比纳米薄膜沉积系统的主要功能为：（*）具有*维保形薄膜沉积能力，具有良好的台阶覆盖能力，能在高深宽比的孔洞中进行薄膜沉积；（*）以沉积的纳米薄膜为媒介能实现封装盖板和各种异质集成衬底之间的低温键合；（*）对*****晶圆，薄膜厚度不均匀性小于±*%。具体详见招标文件第*章。合同履行期限：合同签订后*个月内。本项目( 不接受   )联合体投标。*、申请人的资格要求：*.满足《中华人民共和国政府采购法》第***条规定；*.落实政府采购政策需满足的资格要求：节约能源、保护环境、扶持不发达地区和少数民族地区、促进中小企业发展、支持监狱、戒毒企业发展、促进残疾人就业、优先采购贫困地区农副产品等政府采购政策。*.本项目的特定资格要求：*）近*年内（本项目招标截止期前）被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府招标网”网站列入政府招标严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目；*）单位负责人为同*人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同*标包投标或者未划分标包的同*项目。*、获取招标文件时间：****年**月**日         至 ****年**月**日，每天上午*:**至**:**，下午**:**至**:**。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海市共和新路****号*座***室方式：网上购买或现场购买（详见特别告知）售价：￥***.*  元，本公告包含的招标文件售价总和*、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）开标时间：****年**月**日 **点**分（北京时间）地点：上海市共和新路****号*座*楼会议室*、公告期限自本公告发布之日起*个工作日。*、其他补充事宜现场购买：有意向的投标人可携带报名表（详见招标公告）、营业执照复印件（加盖公章）、法人代表授权书原件、被授权代表身份证（复印件加盖公章））至上海市共和新路****号*座***室进行报名购买招标文件。 网上购买：有意向的投标人将报名表（详见招标公告）、营业执照扫描件、法定代表人（单位负责人）授权委托书原件、委托代理人身份证明（复印件加盖公章）的扫描件和购买标书登记表（详见）发至*************@***.***，**********@**.***邮箱邮箱，明确投标项目名称，并将标书款汇至招标公司账上。招标文件售价：每包件售价人民币 *** 元（招标文件售后不退）。注：我公司只接受公司转账，不接受个人转账。开户名：上海中招招标有限公司[联系方式]开户银行：中国民生银行上海虹桥支行银行帐号：****************摘要：*********标书费或投标保证金*、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。*.采购人信息名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所[联系方式]　　　　　地址：上海市长宁区长宁路***号　　　　　　　　联系方式：纪老师***-********　　　　　　*.采购代理机构信息名 称：上海中招招标有限公司[联系方式]　　　　　　　　　　　　地　址：上海市共和新路****号*座***室　　　　　　　　　　　　联系方式：陈永亮***-********，***********　　　　　　　　　　　　*.项目联系方式项目联系人：纪老师电　话：　　***-********