发布公告
| 更新时间 | 2024-04-24 | 招标单位 | 我要查看 |
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| 申购单主题： | 高性能旋涂系统 | 申购单位： | 环境科学与工程学院 | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 高性能旋涂系统 | 中国科学院微电子研究所 | **-** | * | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | 转速：***-**** *** 转速稳定性：**** 旋涂均匀性：（*致性） ＜*%（片内）；＜*%（片间） 基片尺寸：Φ*-Φ***** 圆片，最大 *****×***** 方片 显示/程序控制：全触摸屏操作，快速启动，人性化界面。* 步工艺调速设计，*-***** 时间可调，专业用户最适合的的需求 整机尺寸：（***） ***×***×*** 工艺支持：依托中科院微电子所工艺平台，提供全方位微纳加工工艺支持 适应材料/工艺支持 ：适合硅片、玻璃、石英、金属、****，***，*** 等各种材料，工艺服务 特殊夹具定制：** 年特殊夹具设计经验，完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品 电机功率：*** 抽气速率：＞***/*** 质量保证：中科院微电子所独家设计制造，通过 ******* 质量体系认证 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| ********** | **** | 最低价原则 | |||||
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