山西太原理工大学固体微观结构成分价态表征系统装置征求意见公告

采购人(盖章)

太原理工大学

采购项目所属项目名称

固体微观结构成分价态表征系统装置

采购项目名称及金额

固体微观结构成分价态表征系统装置，****万元

项目组织单位

太原理工大学

项目使用单位

太原理工大学分析测试中心

购置理由

固体材料的微观分析对推动现代科技发展起着至关重要的作用，本项目拟购置的固体微观结构成分价态表征系统装置是由球差校正透射电镜、常规先进透射电子显微镜、软*射线电子探针分析仪和横截面离子刻蚀仪组成。其中，球差电镜具有极高的空间分辨率，用于原子尺度上的结构分析和表征，近年来发展迅速，绝大多数高水平理工科院校及研究单位均拥有该设备，而我校及我省目前还没有对于非原子级分辨率要求的微观分析，常规透射电镜具有比球差电镜操作分析更方便、检测更高效的优点，此外它也常作为球差电镜的辅助设备，对分析样品做必要的预先筛选软*射线电子探针分析仪则可对无法用球差电镜及常规透射电镜分析的块体样品的微观形貌、成分及元素价态进行分析，是对球差电镜、常规透射电镜分析功能的重要补充和拓展横截面离子刻蚀仪主要用于样品表面刻蚀抛光，是能够为以上高分辨分析设备进行样品制备的重要仪器。该套系统装置的购置将对我校材料、化工、机械、矿业、地质、物电、生医、环工、信息等相关学科开展高水平科学研究、培养高水平人才起到巨大的支撑作用，对促进学校“双*流”建设起到不可或缺的作用。

论证专家基本情况

姓名

技术职称

现从事专业

所在单位

权龙

教授

机械电子工程

机械与运载工程学院

陈维毅

教授

生物力学

生物医学工程学院

李璞

教授

光电工程

物理与光电工程学院

左志军

教授

煤化工

煤科学与技术教育部与山西省重点实验室

董宪姝

教授

矿物加工工程

矿业工程学院

专家组论证意见

*.拟购置的固体微观结构成分价态表征系统装置，主要用于各种固体材料原子尺度上的高分辨形貌观察，微区成分定性定量分析及元素价态分析，是材料、化工、机械、矿业、地质、环工、物电、轻纺、生医、电力等相关学科开展高水平研究的必要设备。

*.该套装置中的球差电镜，是从原子尺度上表征固体结构不可或缺的强有力的工具，目前，我国绝大多数高水平院校及研究单位都已配备，而我校乃至我省还未配备软*射线能谱仪与电子探针的联用是分析固体材料表面及界面信息的最新分析技术，目前我校拟购的该联用设备是山西省乃至全国第*例。该套表征系统装置采购完成后，基于分析测试中心这*公共服务平台，可以实现校内外资源共享，对我校和我省提升科研实力、产出高水平科研成果、服务山西省创新发展具有重大意义。

*.该套设备的采购符合国家法律法规的有关规定该套设备属于近几年研制推出，国内尚未出台国家/地方相关标准规范。

*.拟购设备的安装场地、水电供应、防磁防噪防振等配套条件已经落实。

综上所述，拟购置的固体微观结构成分价态表征系统装置是我校开展高水平教学科研、培养高水平人才、促进“双*流”学科建设的必要设备，建议采购。

采购需求

商务(资格)需求

*、使用环境:

*.主机：**单相****(±**%)，≥***，**/****

*.冷却循环水：******(±**%)，*****相

*.地线：≤*欧姆以下独立地线

*.环境温度：**±*℃

*.相对湿度：≤**%

*.噪音：≤**-****

*.振动：≤*.*μ*/*，***~****

*.磁场：交/直流电流磁场波动≤*.**μ*

*.安装场地：有效高度不小于*.**。

*、资格要求:

*、本包是否接受联合体投标：否

*、本包是否接受代理商投标：是

*、本包所需的其他特定资格条件：无

*、执行标准:

该采购设备属于近*年研制推出，尚无强制性国家标准，设备符合电镜行业企业标准。

*、交货(服务、完工)时间:

*****场发射球差校正透射电子显微镜自合同签订之日起**个月内完成制造，设备的运输、安装、调试、培训、验收约*个月。

*****场发射自动进样透射电子显微镜自合同签订之日起*个月内完成制造，设备的运输、安装、调试、培训、验收约*个月。

软*射线电子探针分析仪自合同签订之日起*个月内完成制造，设备的运输、安装、调试、培训、验收约*个月。

横截面离子刻蚀仪自合同签订之日起*个月内完成制造，设备的运输、安装、调试、培训、验收约*个月。

*、交货(服务、施工)地点:

太原理工大学明向校区(山西省晋中市榆次区大学街***号太原理工大学分析测试中心楼)，运费包含送货上门及上楼费用。

*、服务:

*.中标厂商提供*人次/*天的工厂全免费预验收服务。

*.自验收合格之日起电镜主机厂家产品*年免费保修，质保期内除人为损坏外所有维修、*部件更换、人工费用全免。其它厂家产品提供*年保修，质保期内除人为损坏外所有维修、*部件更换、人工费用全免。如出现故障，厂家售后服务的响应时间需在*小时以内，并在**小时内到达用户现场。如在质保期外出现软硬件问题，厂家应在用户通知后**小时内给予答复，*个工作日内提出解决方案并到达用户现场解决问题。如遇重大问题或其它无法立刻解决的问题，厂家应在*周内解决或提出明确的解决方案。

*.厂商应提供终身维修服务，并保证质保期满后不低于**年的*配件及消耗品供应。

*.提供现场免费培训时间不少于*周。

*、其他要求:

无

技术需求

固体微观结构成分价态表征系统主要用于分析固体材料的微观性能与宏观性质之间的关系，对于薄膜样品通过选区电子衍射(****)确定晶体结构、高分辨分析(*****)获得微观形貌、微区成分分析(***)、样品的价态分析(****)等，此外还可以配合各种原位观察手段，获得样品实时变化的过程。通过软*射线能谱仪(****)电子探针对块体样品进行表面的形貌结构和成分价态分析，并配备有相关的制样设备，提供薄膜样品的清洗和块体横截面样品的制备。该系统装置的分析精度逼近原子尺度，覆盖从微米级到亚纳米级的固体微观形貌、结构、成分、价态的分析，是材料前沿研究必不可少的手段。

*.货物名称：*****场发射球差校正透射电子显微镜数量(单位)：*套

(*)采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求

用于材料样品的原子级高分辨形貌观察和原子级成分分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。设备可以在极短时间内得到高分辨率的图像观察，结合高灵敏度的能谱仪和能量损失谱仪(****)可以快速分析样品的成分和价态，采用宽的极靴间距，可以无缝兼容原位工作。

(*)采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求

该采购设备需满足以下技术指标：

*.分辨率:

*.****信息分辨率：≤*.****(*****)≤*.***(****)

**.*扫描透射模式分辨率：≤*.*****(*****)≤*.****(****)

*.加速电压

*.*加速电压：**-*****电镜主机、球差校正器和系统均在****、*****加速电压下完成合轴

**.*加速电压稳定度：≤*.****/***(峰峰值)

*.电子枪

**.*电子枪类型：冷场发射电子枪无需使用单色器,保证低能量发散度下的大束流

*.*束流：*.*****束斑电流≥*.***

*.*亮度：≥****/*****.(*****，*****)

**.*能量分辨率：&**;*.****(*****，束流：*μ*)

*.*最小曝光剂量模式:提供可以控制和测量电子辐照剂量的有效手段或控制软件，能进行低剂量电子束成像。

*.真空系统

*.*换样时间：&**;*分钟

**.*配有机械泵、扩散泵和离子泵、化学吸附泵，共*级

*.*配有“*****&***;**;”系统，*****时间仅需*秒，*****后无需合轴对中，保证成像和分析质量的相邻两次*****时间不短于*小时

*.*大容量液氮冷阱：添加*次可使用**小时

**.*电子枪***：断电可坚持电子枪真空度长达***小时

*.*电子枪真空度：优于**-***

**.*样品室真空度：优于*×**-***

**.*具有镜筒自动烘烤功能，可去除镜筒污染

*.*满足原位气体样品杆使用要求。

*.聚光镜与物镜

**.*提供最先进的**极子球差校正器，在不增加色差的前提下减少球差

*.*球差校正器开启的情况下，****物镜**≤±*.****

*.*球差校正器开启的情况下，****物镜**≤*.***

*.*物镜电流稳定度：≤*.****/***(峰峰值)

**.*自动球差校正软件：点击鼠标,只需主要校正*个参数，无需旋转样品，****即可自动修正至*阶***即可自动修正至*阶，无需标准样品

*.*********-*******，允许用户控制系统中所有单个透镜。

*.放大倍率和相机长度

*.****放大倍数：×**-×*,***,***

*.*****放大倍数：×***-×***,***,***

*.********模式下：×**-×**,***

*.*标准相机长度：****-******。

*.测角台(无缝衔接压电驱动)

**.*倾斜角度：*≥±**º*≥±**º

**.*样品移动范围：*：≥****：≥****：≥±*.***

*.*样品漂移：≤*.***/***

**.*极靴间隙≥***

*.*配备单倾样品杆/铍双倾样品杆

**.*应具有(*/*/*)*轴压电控制样品台

*.*可存储和复位样品台的*维(*,*,*,*****,*****)坐标。

*.*体化的扫描透射(****)系统

**.*全新高角环形暗场探测器，采用对高能和低能电子均敏感的复合型(***+***)材料,高低电压下信号量相对单*材质可提升*.*倍

*.*明场探测器(**)：*套

*.*环形明场光阑(***):*套，结合**探测器可得到***像

*.*多分割全场探测器：*套:可以直接获得原子级分辨率的电、磁场分布

**.****背散射电子探测器:*套，分辨率≤***可与*****、**同时成像

*.****和****模式切换无时间延迟

*.*****模式下，会聚角(*α)：≥*.*-*******

*.*****模式下，接收角：±**°

**.*具有****模式下晶体样品的自动调节功能

*.**图像分辨率可达**×**。

*.具有原子级分辨能力的电制冷能谱仪***

**.*双探测器总面积：≥******

**.*固体角：≥*.*****

*.*可伸缩设计，可根据样品类型调整工作距离，带有自保护

**.*取出角：≥**°，可短的*射线吸收效应

**.*****分辨率：优于*****

*.*分辨元素范围：**~***

**.*峰背比：≥****:*

*.*具有*****-********漂移矫正功能

**.*具有********时间回放功能，实时提取电子束驻留时的每*帧图像与成分信息，利用此功能，操作人员可以得到被电子束污染前的成分信息

*.**杂散峰与背地比值：&**;*.*%

*.**标配有******过滤器，可对*-***颗粒样品进行突出表征

**.**先进的几何角度，*号能谱仪可保证样品倾转时计数率不变

*.**最短驻留时间：**μ*/*****

*.**图像分辨率:**×**。

**.*维重构系统技术指标

***.*样品杆最大倾角：±**°

**.*步长范围：*.**°~**°

**.**维重构硬件和软件:*维重构硬件包含专用高倾斜样品杆*个，*维重构软件包括：数据采集软件包(***模式、****模式和***模式)，和数据对中重构及可视化处理软件包

**.*能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用

**.*具有***、****以及****多种算法

**.*采集软件输出格式支持第*方重构软件，如*************等

**.*具有自动分区统计、染色功能，可给出纳米级样品的体积、表面积信息

**.底插式快速****成像系统技术规格

***.*像素尺寸：**μ*

**.*像素：感应尺寸****×****

**.*动态范围：≥**-***

**.*具有快速成像功能，拍摄速度：*****@**************@***************@***************@*******

**.*可伸缩设计，兼容其他后置设备

**.*具有原位记录功能，并提供专业处理工作站

***.****在*.*奈奎斯特频率(*******)下：**

***.*配有最新*******软件，具备常用图像分析编辑功能电子衍射分析图像实时自动漂移矫正视频处理(编辑，漂移矫正，颗粒跟踪)视频回放(写入硬盘前追溯时间起点，丢弃无用数据)等功能。

**.**************电子能量损失谱和能量过滤分析系统(*********位软件操作系统)

**.*操作电压：**-*****(提供**、*****两个合轴数据)

**.******和****标配

**.*内置**/**探测器

**.*****像素数:*********

**.*像素尺寸：*μ*

**.*探测器技术:直读探测器

**.*能量分辨率：&**;*.***

**.*能量范围：******

**.*全分辨率速度：*****

**.**采谱速率：*******

**.*******静电快门

**.**软件功能：***********时********面扫时***稳像***************

**.**配有***********

**.**高速谱成图****-********************

**.**原位分析功能**-**************************

**.******下***采谱****-*******************。

**.电镜操作

**.*数字化操作系统，基于*******的计算机控制系统,在用户图形界面上完成电镜的操作控制。配备远程遥控相机系统，可对电镜进行远程遥控操作

**.*能比较方便地实现常用功能,包括样品移动、光束移动、改变放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作，无需非晶区调节龙池图等

***.*全自动光阑系统：包括全自动化*级、*级聚光镜光阑选区光阑和物镜光阑带位置记忆功能。

**.主动消磁器

**.*设置在主机附近的传感器感知到外界干扰磁场后，传递给控制器，控制器通过*个方向消磁线圈发出相反方向的抵消磁场，将外界干扰磁场消除

**.*主动式消磁器磁场衰减率最大-****，最大补偿磁场*.*μ*以内，对应磁场频率范围包括**(***)～****，信号处理通过模拟信号处理系统实现

***.**，*，*轴传感器可以根据实测磁场，分别独立安装，达到最佳消磁效果。

**.*体化主动减震器

**.*新型高性能主动减震系统，对比普通的被动式减震器，具有减震性能高，适用振动频率广等特点。克服了被动式减震器的共振频率的影响，在空气弹簧减震的基础上，采用高精度震动传感器以及直线电机驱动的组合设计，通过数字控制器，在*-****的频率范围内，可以达到-****的减震效果。保证透射电子显微镜在高倍下克服震动干扰，得到高质量图像

***.*使用采用&**;*.****的压缩空气或者氮气作为气源，托起电镜主体，对于减震重量和外部干扰具有很广泛的适用范围和减震效果。*个********都内置水平和垂直方向的振动传感器，采用反馈控制器。前馈传感器安装在电镜支架上，提高控制系统的反应速度。安装调试完毕后，日常使用期间不需要用户的调试和维护

**.*控制系统采用全新地面外扰前馈反馈控制(***)，可以最大限度地降低周围机械类设备产生的外部干扰，提高减震性能

***.*主动减震器安装在电镜内部，而非底部，更靠近整体中心。

***.高精密冷暖空调系统

**.*实现电镜室温度变化&**;*.**℃/***

**.*实现电镜室温度漂移*.*℃/*

**.*实现*.**/*以下整对流

**.*总温度变化：**-**℃。

**.离子清洗仪

**.*此仪器利用放电产生的化学反应去除附着在样品表面的碳氢污染

**.*工作压力：**-****

**.*真空仓室：*****(*.*.)×****(*)

**.*清洗时间：*,*,**,**,**,*****可选

**.*可清洗**.***直径***样品托或者透射电镜样品杆。

**.样品杆干燥泵

**.*极限压力：优于*×**–***

**.*采用机械泵和分子泵

***.*采用红外烘烤去除样品表面的水汽污染，温度可达***℃

**.*可同时支持*根样品杆的安装。

**.原位电学样品杆

**.*透射电子显微镜原位电学性能测试系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装扫描探针控制单元，通过探针对单个纳米结构进行操纵和电学测量，并可在电学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电子显微镜的功能与应用领域。本系统包括扫描探针控制器(内含电压源、电流放大器)与原位测量样品杆部分。

**.*扫描探针操纵指标：

•粗调范围：**方向*.***,*方向*.***

•细调范围：**方向**？*,*方向*.*？*

•细调分辨率：**方向*.***,*方向*.****

电学测量指标：

•包含*个电流电压测试单元

•电流测量范围：***-****,*个量程

•电压输出范围：普通模式±***，高压模式±****

•电流分辨率优于*****

•自动电流-电压(*-*)测量、电流-时间(*-*)测量，自动保存

**.原位力学样品杆

**.*透射电镜原位力学性能测量系统是在标准外形的透射电镜样品杆内加装力学探针控制单元，通过力学探针对样品进行操纵和拉应力、压应力测量。并可在力学测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地拓展了透射电子显微镜的功能与应用领域。

**.*力学传感器指标：

•最大载荷*****(可选*.***、***、****)

•力测量实测噪声优于***(*.***最大载荷时)

•力测量实测分辨率优于***(*.***最大载荷时)

•自动测量力-距离曲线，自动保存。

**.*卖方在合同生效后的两个月内，对用户可能的安装场地进行免费噪声、震动及磁场等情况测试，随后负责安装实验室的改造工作(如地基、气流、噪音、振动、磁场)，以满足安装条件保证验收关键分辨率指标。

(*)采购标的的其他技术要求

无

(*)验收标准及规范

整机调试后，清点验收附属*配件，并检查、验证仪器性能是否达到合同规定的技术指标。

*.货物名称：*****场发射自动进样透射电子显微镜数量(单位)：*套

(*)采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求

用于材料样品的高分辨形貌观察和原子级成分分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。可以在极短时间内得到高分辨率的图像观察，结合高灵敏度的能谱仪可以快速实现样品的成分分析，配有*维重构采集系统以及自动进样系统，适合公共服务平台。

(*)采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求

*.透射(***)模式分辨率

**.*点分辨率：≤*.****@*****

*.*线分辨率：≤*.****@*****

**.*信息分辨率：≤*.****@*****

*.****模式下放大倍数：**-*,***,***×。

*.电子枪

*.*电子枪类型：冷场发射电子枪

**.*分析束流：*.***(束斑尺寸为*.***时)

**.*能量分辨率：*.****(@*****,*****)

*.*束斑漂移：&**;***/***

*.*加速电压范围：**-*****，预设***/****两个合轴数据,步长***，切换仅需通过软件控制完成

*.*加速电压稳定性：≤****/***(峰峰值)

*.*采用超高稳定度的高压箱，系统无需降低电压过夜，在夜间不使用时也无需退高压预约复苏，电镜会自动调整到所需要模式，简单轻松

*.*污染防止功能：自动整机烘烤系统，可将原位实验等外来污染物清除

**.*电子枪***：断电可坚持真空度长达***小时。

*.聚光镜与物镜系统

*.*球差系数：≤*.***

*.*色差系数：≤*.***

*.*最小聚焦步长：≤*.***

**.*相机长度:**–******

*.*全自动光阑系统,可以通过计算机系统直接控制和观察光阑进出，光阑采用至少*孔设计，可根据不同应用进行精细调节

**.*采用*级聚光镜系统，可以实现会聚角度和亮度的单独控制，进*步保证光路的平行性，同时放大倍数自动与亮度联动

*.*阿尔法(α)角控制器内置：软件内部预置了几百种束斑尺寸条件，使得用户进行自定义设定时很方便，另外还配有自动放大倍数与亮度联动功能，可以避免高亮度束流对数字化成像系统的伤害等人性化设计

*.*物镜电流稳定性：≤****/***(峰峰值)

**.*标配有洛伦茨模式，可进行磁性样品的磁畴、磁壁表征。

*.高精度全自动进样测角台

*.**轴马达样品移动范围：*:****:****:±*.********:±**°*****:±**°

**.*样品杆的插拔全部自动化，只需点击按钮即可实现样品杆的全自动插入或者退出，退出时样品台坐标自动清*，探测器也自动退出，避免人为误操作带来的机械损坏

**.*样品移动速度：***/**

**.*样品移动精度：≤*.***/步

*.*样品漂移：≤***/***

*.*标配大容量液氮冷阱，单次添加液氮持续使用时间可达**小时

*.*样品杆：包括单倾样品杆和低背景双倾样品杆至少*根样品杆

*.*具有**方向压电陶瓷驱动，步长&**;****

*.*马达驱动重复精度：&**;*****。

*.扫描透射(****)模式分辨率

**.***/*****图像分辨率：≤*.****(*****)

*.*****模式放大倍率：×***-***,***,***

*.****、****模式通过软件简单点击即可快速切换，热稳定时间小于*秒，保证图像采集的无缝式切换，同时操作界面以不同颜色标注现阶段所处模式状态

*.*最小驻留时间:*****/*****

*.*图像分辨率：**×**。

*.*射线能谱分析仪

**.*探测器类型：无窗型*体化电制冷型探测器，总面积≥******

**.*能量分辨率：≤*****(**-*α峰)

**.****固体角：≥*.*****

*.****发射角：≥**°，更短的*射线行程，更小的吸收效应

*.*最小驻留时间：**μ*/*****

*.*元素分析范围：**-***

*.*具有*****-********漂移矫正功能

**.*具有********时间回放功能，实时提取电子束驻留时的每*帧图像与成分信息，利用此功能，操作人员可以得到被电子束污染前的成分信息

*.*峰背比(*/******):≥****:*(***峰)

*.**杂散峰与背地比值：&**;*%

**.**标配有******过滤器，可对*-***颗粒样品进行突出表征

*.**样品倾转时，*号能谱仪可保证计数率不变。

*.*维重构系统技术指标

**.*样品杆最大倾角：±**°

*.*步长范围：*.**°~**°

*.**维重构硬件和软件:*维重构硬件包含专用高倾斜样品杆*个，数据采集软件包(***模式、****模式和***模式)

*.*能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用

*.*采集软件输出格式支持第*方重构软件。

*.底插式快速****成像系统技术规格

**.*像素尺寸：**μ*

*.*像素：感应尺寸*********

*.*动态范围：≥**-***

*.*具有快速成像功能，拍摄速度：*****@**************@***************@***************@*******

*.*可伸缩设计，兼容其他后置设备

*.*具有原位记录功能，并提供专业处理工作站

**.****在*.*奈奎斯特频率(*******)下：**

**.*配有最新*******软件，具备常用图像分析编辑功能电子衍射分析图像实时自动漂移矫正视频处理(编辑，漂移矫正，颗粒跟踪)视频回放(写入硬盘前追溯时间起点，丢弃无用数据)等功能。

(*)采购标的的其他技术要求

无

(*)验收标准及规范

整机调试后，清点验收附属*配件，并检查、验证仪器性能是否达到合同规定的技术指标。

*.货物名称：软*射线电子探针分析仪数量(单位)：*套

(*)采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求

主要用于各种固体材料的微区形貌观察和微区成分定量分析。在获得样品微区亚纳米级形貌的同时，利用本身携带的软*射线能谱仪，可以对样品微区内小于******的各种相做出准确的成分定量分析、痕量分析及化学价态分析，特别是以前从未能被探测到的**元素都可以被探测到。另外通过配套的****装置，可以进行晶体取向分析。利用该套设备可以*次获得晶体样品的形貌、结构、成分、化学结合状态*组数据。

(*)采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求

*.电子光学系统

**.*分辨率：*次电子像：≤*.***@****,≤*.***@***

*.*放大倍率：**-*,***,***倍(********实放大倍率条件下)[或**-*,***,***倍(显示器实放大倍率条件下]，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，倍率连续放大无需模式更换

**.*加速电压范围：*.****～****

**.*电子枪：高稳定性浸没式肖特基(********)热场发射电子枪，能自动合轴调整，保证使用寿命不低于*年

**.*分析电子束流范围：***-*****，完美匹配如****、***等各种

**.*最佳光阑角度控制透镜技术：***-****范围无需调整光阑,自动连续调整，****-*****光阑孔切换后无需对中

*.*光阑更换：可插拔式设计，更换时无需拆卸镜筒，用户可自行完成

*.*工作距离:*-****预设(***以内可电动调整)，能谱仪最佳分析工作距离可近到****

**.*混合透镜设计，可对铁磁性材料进行近距离高分辨成像，并确保****结果和***结果的准确性，无需磁性模式转换

*.**具备大景深(***)模式，可得到无畸变的***大视野图像，寻找样品非常方便

*.**扫描线圈：*级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自动旋转补偿等功能

*.**自动调整功能：***引擎设计，具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，并兼有手动调整功能。

*.样品室和样品台

*.*样品室：内部直径不小于*****,高度不小于*****

*.**轴马达移动范围：*：****，*：****，*：****，*=***º，样品台可双向倾斜，倾斜范围不小于**º，可完全观察****样品

**.*换样方式：*步到位式气锁交换(最大进样直径*寸硅片)，抽真空速度≤*分钟

*.*抽屉式拉门设计(最大进样直径：*寸硅片)，用户可自行扩展样品仓内样品台，如原位台等

**.*样品台承重：*/*不小于***，*方向不小于***

*.*具有**个拓展接口，其中能谱仪接口不少于*个

**.*样品台中心设计，样品倾斜、平移，焦点不变，衬度不变。****分析时无需倾斜寻找样品。

*.探测器及成像系统

*.*样品室内*次电子探测器：可形成样品的立体形貌像

**.*样品室内可伸缩背散射电子探测器：可形成样品的*衬度像

**.*穿越透镜能量选择*次电子及背散射电子探测器：可形成样品的高分辨图像。通过能量过滤器可任意比例选择成像的能量段，通过***引擎，调整能量过滤器时图像焦点、衬度不变

**.*样品室内彩色光学观察相机，明暗对比度可调

**.*探测器可以结合样品台偏压减速模式使用，从而减少电子束对样品造成的损伤，增加表面信息，抑制充电效应。样品台偏压最大可达-**，样品台减速模式使用普通样品托即可，无需使用特殊样品托

*.*具有多象限成像功能(*.*-*.*规定的探测器可同时成像)

**.*具有彩色光学样品导航相机，可将整个样品台的视野用相机记录下来，多个样品切换观察时方便、快捷

*.*具有**********不导电样品扫描模式，可跨行积分扫描异形样品，抑制样品的荷电效应

*.*随机配有多样品台以及截面样品托

*.**样品移动方式：具有键盘鼠标、快捷功能操作面板、轨迹球等不同控制方式

*.**具有束流探测器和电流表。

*.真空系统

*.*真空泵：配置机械泵、涡轮分子泵及离子泵

**.*配有电子枪离子泵***，断电可延迟电镜主机***小时真空

*.*安全保护：具有突然断电、断水、真空状态不良保护措施

*.*样品室真空度：高真空模式优于**-***,电子枪真空度优于**-***

**.*自动抽真空:完全电磁阀门驱动，无需空压机，真空计：潘宁规´*,皮拉尼规´*。

*.图像处理系统

*.*图像处理软件:可进行图像的处理、测量和编排实验报告(如对图像进行测量、计数等等),*******位系统

*.*图像显示:****×****

*.*图像存储:****×****，可输出***,****,****(**位)格式，自带蒙太奇拼接模式

*.*显示器:**英寸宽屏液晶显示器

*.*计算机系统：不低于*****®****®**-***************(*.*****)、***内存、******-****.*硬盘、***刻录机、**.*”***显示器。根据供货时间，提供最新产品

*.*操作方式：键盘、鼠标及快捷功能操作面板及轨迹球。

*.实时元素成像分析系统

*.*探测器：探测器有效面积不小于*****高分子超薄窗设计，非氮化硅

*.*能量分辨率：****保证优于*****(计数率***,******)

**.*元素分析范围:***～****

*.*探测器可软件控制，自动伸缩

**.*控制单元：具备****功能，移动样品时，元素谱图与面分布图实时刷新显示，无需在电镜和能谱软件间切换。样品*旦停止移动，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图

**.*控制单元：可记录样品预览过的位置，以便随时返回重新分析。并具备元素追踪功能，显示经过位置的不同元素含量变化

*.*控制单元：拥有完备的高低电压定量数据库，****和***能谱仪处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度****×****，全谱面分布图清晰度****×****

*.*高帽滤波法，自动扣除背底

*.*谱定性分析:可自动标识谱峰,无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，对重叠峰进行手动峰剥离

*.**定量分析：能谱定量需采用***修正方式。

*.软*射线能谱仪部分技术指标要求

*.*适合过渡金属的价态分析和轻元素(如**,*,*,*,*,*)的定量分析

*.*探测能量范围：***—******

**.*能量分辨率：≤*.***@**-*，***@**-**

*.*钢铁样品中，极低的探测极限：*****(以*元素为例)

*.*衍射光栅类型：像差矫正、变栅距衍射光栅

*.*探测器：***相机

**.*最适合分析：第*、第*周期元素的化学价态

*.*软*射线面分布图采集模式：电子束扫描和样品台扫描两种模式。

(*)采购标的的其他技术要求

无

(*)验收标准及规范

整机调试后，清点验收附属*配件，并检查、验证仪器性能是否达到合同规定的技术指标。

*.货物名称：横截面离子刻蚀仪数量(单位)：*台

(*)采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求

通过氩离子对样品的表面或者横截面进行抛光，去除损伤层从而得到大面积高质量无应力破坏截面的制样设备，主要用于无损制备扫描电镜(***)、电子探针(****)及光学显微镜(**)观察样品的光滑横截面，充分展现材料的微观结构。所制备的样品横截面面积大、光滑、无破坏、无磨料嵌入污染，是高分辨分析工作中必不可少的预处理手段，特别是在电子背散射衍射(****)分析中，可将标定率提升至**%以上。

(*)采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求

*.所有操作通过*.*寸触摸屏进行，无需目镜观察

**.定位精度：不低于**μ*

**.氩离子加速电压：*-***

*.氩离子束斑尺寸：***μ*(半高宽)

**.抛光速度：***μ*/*(以**换算)

**.具有间隔研磨功能：可有效防止离子束连续轰击给样品带来的热损伤，间隔时间用户可任意设定

**.具有精抛研磨功能：加工前，软件可预设不同加速电压，组合加工同*样品位置。先使用高电压进行快速粗抛，粗抛结束后自动使用低加速电压进行精研。既保证高加速电压下的研磨速度，又可有效减少高加速电压对样品带来的损伤

*.截面最大样品尺寸：****×****×***(长宽高)

*.平面最大样品尺寸：****(*)×****(*)

**.样品台移动距离：*:±****,*:±***

***.加工后样品可自动水平摆动±**°，去除应力

***.快速启动模式：将样品放入抛光仪后，样品可在*分钟以内自动完成抽真空及氩气通入，并开始工作

***.离子枪非耗材，用户可自己拆卸安装进行内部清洗及维护。

(*)采购标的的其他技术要求

无

(*)验收标准及规范

整机调试后，清点验收附属*配件，并检查、验证仪器性能是否达到合同规定的技术指标。

其他事项