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比比招标网> 政府采购 > 桌面式原子层沉积系统（JJ2024000015）采购公告
| 更新时间 | 2024-05-14 | 招标单位 | 我要查看 |
| 截止时间 | 我要查看 | 招标编号 | 我要查看 |
| 项目名称 | 我要查看 | 代理机构 | 我要查看 |
| 关键信息 | 我要查看 | 招标文件 | 我要查看 |
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桌面式原子层沉积系统（************）采购公告
| 项目名称 | 桌面式原子层沉积系统 | 项目编号 | ************ |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 清源创新实验室(中国福建化学工程科学与技术创新实验室) | 付款方式 | 凭初步验收材料和正式发票支付**%合同款，正常运行*年后待全部货物最终验收合格付清剩余**%合同款。 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 成交后*个工作日内 | 到货时间要求 | 签约后**个工作日内 |
| 预算总价 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 清源创新实验室，具体以我方指定的地点为准 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 桌面式原子层沉积系统 | * | 套 | 真空应用设备 无 无 |
| 品牌 品牌* | 无 |
|---|---|
| 型号 | 无 |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 | ★*. 尺寸：长*****×宽*****×高*****±*%；工艺温度≥***℃；成膜不均匀性：≤±*%（不低于*英寸*****沉积氧化钛薄膜）*.前驱体源：配备* 个单管式****前驱体源，*条清扫气线；源瓶：配备*个单管式****前驱体源（含）*个。*.源瓶加热器：配备*个***℃单管加热器，精度：***±* **。★*.采用抽屉式样品装载，*寸***** ；配备粉末样品处理装置，实现晶圆及粉末式***，*机两用。★*.腔体采用真空腔体，配备高温铝腔温度≥***℃，温度控制精度≤±* **。★*.包括多组毫秒级***阀门，氧化管路采用双阀门设计，保证源进气量的稳定性。采用自动化加热，加热温度≥*** **。*.气体质量流量计：*个精确的载气流量控制，氩气最大量程*******；真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力,标准******电容薄膜。真空泵：****/* 飞越油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器 ；反应腔抽真空时间:***；腔体衬板：提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少********脱落。需配备*体式工控机，屏幕尺寸大于**英寸，带触摸功能；软件功能：配备行业标准多个***界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储等功能。 |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 商品承诺:原厂全新未拆封正品商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训 |
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