上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000138)

*.* 机外壳采用优质冷轧钢钢板烤漆处理制造，内胆为医用专用不锈钢****材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁*周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体*目了然。 *.* 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 *.* 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和***自整定功能，控温 精确，可靠。 *.* 智能化触摸屏控制系统配套日本*菱***模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每*程序时间。 *.* ****气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保****气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用***级光刻间净化环境。 *.* ****管路加热功能，使****液体进入箱体的前端管路加热，使转为****气态时更易. *.* 低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当**** 液过低时发出报警及及时切断工作起动功能） *.* 温度与***联动保护功能（当***没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，***程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报） *.*整个箱体及****气体管路采用******医用专用不锈钢材料，整体使用无缝焊接避免拼接导致****液体腐蚀外泄对人体的伤害） *.** 设备自带温度记录及压力记录（能及时找到异常） *、整机尺寸、真空腔体尺寸： *.* 内胆尺寸：*************) 外尺寸************** 容积：*** *.* 载物托架：*块 *.* 室温+**℃-***℃ 控温范围：温度分辨率：*.*℃ 温度波动度：±*.*℃ *.* 真空泵：干泵（选配）爱德华***或者鲍斯干泵。真空度：*****， *.* 加热方式：*面加热。 *.* 可放*寸晶圆片或*寸晶圆片；*寸晶圆片*寸晶圆片等。 *.*开箱温度可以由****自行设定来降低*******时间（正常工艺在**分钟-***分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）；

按行业标准提供服务，质保*年